RF酸素プラズマ照射を特長とした併用式スパッタ法によるWO3還元発色薄膜の作製

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タイトル別名
  • Preparation of WO3 reduction coloring thin film using a combination sputtering method with radio-frequency oxygen plasma irradiation
  • RF サンソ プラズマ ショウシャ オ トクチョウ ト シタ ヘイヨウシキ スパッタホウ ニ ヨル WO ₃ カンゲン ハッショク ハクマク ノ サクセイ

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