超解像顕微鏡技術(WLI/SIM)を用いた微細3D形状測定

書誌事項

タイトル別名
  • Hyperfine 3D Shape Measurement Using Super Resolution Microscope Technology (WLI/SIM)
  • チョウカイゾウ ケンビキョウ ギジュツ(WLI/SIM)オ モチイタ ビサイ 3D ケイジョウ ソクテイ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 86 (7), 520-523, 2020-07-05

    公益社団法人 精密工学会

参考文献 (1)*注記

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