二つの結像を考慮したアフォーカルコンバーターによる小径の計測物に対する干渉計測

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タイトル別名
  • Fizeau interferometric metrology of small diameter samples by combining object and pupil plane images

抄録

<p>干渉計による計測は,主に三次元形状計測に利用されており,多くのメーカーから市販され、ものづくりに大きく貢献している.しかし,市販の装置ではビーム径に対して小さい小径（20mm以下など）の計測物を検査する場合,被検物に照射する検査光の一部のみしか使用できないことになる.本研究では、物体と瞳との二つの結像を考慮したアフォーカルコンバーターを提案し,光学シミュレーターで設計した実例を紹介する.</p>

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390848647555374976
  • NII論文ID
    130007896862
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2020s.0_745
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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