Fizeau interferometric metrology of small diameter samples by combining object and pupil plane images

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  • 二つの結像を考慮したアフォーカルコンバーターによる小径の計測物に対する干渉計測

Abstract

<p>干渉計による計測は,主に三次元形状計測に利用されており,多くのメーカーから市販され、ものづくりに大きく貢献している.しかし,市販の装置ではビーム径に対して小さい小径（20mm以下など）の計測物を検査する場合,被検物に照射する検査光の一部のみしか使用できないことになる.本研究では、物体と瞳との二つの結像を考慮したアフォーカルコンバーターを提案し,光学シミュレーターで設計した実例を紹介する.</p>

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Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390848647555374976
  • NII Article ID
    130007896862
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2020s.0_745
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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