Fizeau interferometric metrology of small diameter samples by combining object and pupil plane images
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- Sato Keiichi
- Canon Marketing Japan Inc., Utsunomiya University
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- Hagen Nathan
- Utsunomiya University
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- Shino Takayoshi
- Koki co., ltd
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- Otani Yukitoshi
- Utsunomiya University
Bibliographic Information
- Other Title
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- 二つの結像を考慮したアフォーカルコンバーターによる小径の計測物に対する干渉計測
Description
<p>干渉計による計測は,主に三次元形状計測に利用されており,多くのメーカーから市販され、ものづくりに大きく貢献している.しかし,市販の装置ではビーム径に対して小さい小径(20mm以下など)の計測物を検査する場合,被検物に照射する検査光の一部のみしか使用できないことになる.本研究では、物体と瞳との二つの結像を考慮したアフォーカルコンバーターを提案し,光学シミュレーターで設計した実例を紹介する.</p>
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2020S (0), 745-745, 2020-03-01
The Japan Society for Precision Engineering
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390848647555374976
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- NII Article ID
- 130007896862
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed