二つの結像を考慮したアフォーカルコンバーターによる小径の計測物に対する干渉計測
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- 佐藤 慶一
- キヤノンマーケティングジャパン,宇都宮大 計測分析機器部 技術課
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- Hagen Nathan
- 宇都宮大 工学研究科 光工学プログラム
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- 篠 敬悦
- 光機
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- 大谷 幸利
- 宇都宮大 工学研究科 光工学プログラム
書誌事項
- タイトル別名
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- Fizeau interferometric metrology of small diameter samples by combining object and pupil plane images
説明
<p>干渉計による計測は,主に三次元形状計測に利用されており,多くのメーカーから市販され、ものづくりに大きく貢献している.しかし,市販の装置ではビーム径に対して小さい小径(20mm以下など)の計測物を検査する場合,被検物に照射する検査光の一部のみしか使用できないことになる.本研究では、物体と瞳との二つの結像を考慮したアフォーカルコンバーターを提案し,光学シミュレーターで設計した実例を紹介する.</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2020S (0), 745-745, 2020-03-01
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390848647555374976
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- NII論文ID
- 130007896862
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可