レーザスライシングによるダイヤモンド（１１１）の剥離
抄録
<p>ダイヤモンドは自然界で最も硬い物質であり，加工が困難である．そのためレーザを用いた熱加工による切断，穴あけ加工がなされている．本研究では，結晶の劈開性（１１１）を利用することで切代を小さくすることが期待できるレーザスライシングの適用を試みている。本報では超短パルスレーザを用いて内部加工を行い，発生する歪を利用した剥離結果について報告する。</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2021A (0), 183-184, 2021-09-08
公益社団法人 精密工学会
