N-PSS上スパッタ堆積アニールAlNテンプレートに成長させたAlN厚膜の微細構造解析
書誌事項
- タイトル別名
-
- Microstructure analysis of thick AlN films grown with sputter-deposited annealed AlN templates on nano-patterned sapphire substrates
収録刊行物
-
- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
-
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.2 (0), 2038-2038, 2020-08-26
公益社団法人 応用物理学会