ミストCVD法によるHf<sub>1-x</sub>Zr<sub>x</sub>O<sub>2</sub>薄膜の強誘電体シナプス素子応用に関する基礎的検討

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  • A preliminary study on ferroelectric synaptic device using mist CVD-derived Hf<sub>1-x</sub>Zr<sub>x</sub>O<sub>2</sub> ferroelectric thin film

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