ミストCVD法によるHf<sub>1-x</sub>Zr<sub>x</sub>O<sub>2</sub>薄膜の強誘電体シナプス素子応用に関する基礎的検討
書誌事項
- タイトル別名
-
- A preliminary study on ferroelectric synaptic device using mist CVD-derived Hf<sub>1-x</sub>Zr<sub>x</sub>O<sub>2</sub> ferroelectric thin film
収録刊行物
-
- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
-
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.2 (0), 898-898, 2020-08-26
公益社団法人 応用物理学会