標準物質の利用と表面分析

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  • Role of Reference Material and Use in Surface Analysis

抄録

分析対象物質が既知量含まれる標準物質を分析機器で測定することによって，分析機器の出力と標準物質がもつ値との相関を得ることができる．標準物質及び認証標準物質が備える特徴，測定結果の信頼性を現す用語，不確かさ評価法，表面分析用の認証標準物質などを概説する．ナノ薄膜試料の厚さを測定対象量とする表面分析法について，試料のもつ厚さ以外の特徴量による影響に触れる．表面分析用の標準物質を開発するときの課題について述べる．

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