GaN中への窒素によるMgのリコイルインプランテーションの試み(5)

DOI

山田寿一

産総研GaN-OIL
山田永

産総研GaN-OIL
高橋言緒

産総研電子光
清水三聡

産総研GaN-OIL

書誌事項

タイトル別名

Mg recoil implantation into GaN with incident Nitrogen ion(5)

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 2827-2827, 2020-02-28

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390855190120893952
DOI

10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_2827
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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