スパッタ法におけるBiFeO<sub>3</sub>薄膜の成長機構の検討

DOI

菊地理沙

阪府大院工
村瀬幹生

阪府大院工
吉村武

阪府大院工
藤村紀文

阪府大院工

書誌事項

タイトル別名

Investigation of the growth mechanism of BiFeO<sub>3</sub> films on sputtering method

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 1179-1179, 2021-02-26

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390855422502503424
DOI

10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_1179
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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