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高SiドープGaN薄膜の断面ラマン分光測定
DOI
馬 ベイ
千葉大院工
湯 明川
千葉大院工
森田 健
千葉大院工
上野 耕平
東大生研
小林 篤
東大生研
藤岡 洋
東大生研
石谷 善博
千葉大院工
書誌事項
タイトル別名
Raman spectroscopy of highly Si-doped GaN film at cross-section
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 2606-2606, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
17p-Z27-12
結晶工学
III-V族窒化物結晶
光物性（GaN, AlGaN, AlInN）
シリコン
Siドープ
ラマン
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390855422510987520
DOI
10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2606
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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