エピタキシャル(Al<sub>1-<i>x</i></sub>Sc<sub><i>x</i></sub>)N膜の作製と強誘電性評価

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  • Growth and ferroelectric properties of epitaxial (Al<sub>1-<i>x</i></sub>Sc<sub><i>x</i></sub>)N films.

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