エピタキシャル(Al<sub>1-<i>x</i></sub>Sc<sub><i>x</i></sub>)N膜の作製と強誘電性評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Growth and ferroelectric properties of epitaxial (Al<sub>1-<i>x</i></sub>Sc<sub><i>x</i></sub>)N films.
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 1187-1187, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会