Face-to-faceアニール処理されたスパッタ成膜AlNテンプレート上AlGaN系多重量子井戸構造の内部量子効率
書誌事項
- タイトル別名
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- Internal quantum efficiency of AlGaN multiple quantum wells grown on face-to-face annealed sputter-deposited AlN template
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 2625-2625, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会