トリハライド気相成長法によるa面sapphire基板上への<i>ε</i>-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>成長
書誌事項
- タイトル別名
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- Growth of <i>ε</i>-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> on a-plane Sapphire Substrate by Tri-Halide Vapor Phase Epitaxy
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 4037-4037, 2019-09-04
公益社団法人 応用物理学会