トリハライド気相成長法によるa面sapphire基板上への<i>ε</i>-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>成長

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  • Growth of <i>ε</i>-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> on a-plane Sapphire Substrate by Tri-Halide Vapor Phase Epitaxy

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