AlN膜の結晶性と弾性表面波デバイスの特性に関する研究
-
- Iguchi Kohei
- Kyushu Institute of Technology
-
- Iwasaki Wataru
- National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
-
- Morita Nobutomo
- National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
-
- Ito Takahiro
- Kyushu Institute of Technology
-
- Murakami Sunao
- Kyushu Institute of Technology
Description
<p>弾性表面波(SAW)デバイスは、基材の表面近傍を伝搬する機械振動を利用した圧電マイクロデバイスであり、センサへの応用が期待されている。高感度なセンサとして利用するためには、高い周波数帯域で小さな伝搬損失が必要であり、AlNの結晶性とSAWデバイスの設計値がデバイス特性に大きく影響する。本研究では、AlNの結晶性とSAWデバイスの波長と伝搬距離に応じた特性変化について調査した。</p>
Journal
-
- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
-
Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2022S (0), 284-285, 2022-03-02
The Japan Society for Precision Engineering
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1390856229465983104
-
- Text Lang
- ja
-
- Data Source
-
- JaLC
-
- Abstract License Flag
- Disallowed