High resolution characterizations of fine structure of semiconductor device and material using scanning nonlinear dielectric microscopy
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- 長 康雄
- 東北大
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 1605-1605, 2018-09-05
公益社団法人 応用物理学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390856384290778880
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- ISSN
- 24367613
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- 本文言語コード
- en
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- データソース種別
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- JaLC
