アンモニアフリー有機金属気相成長法における高温AlN成長

DOI

沈旭強

産総研
児島一聡

産総研
清水三聡

産総研
奥村元

産総研

書誌事項

タイトル別名

High-temperature AlN growth by ammonia-free metalorganic vapor phase epitaxy

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 3282-3282, 2018-09-05

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390856384292105984
DOI

10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_3282
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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