Siドーピングによるエピタキシャルc-BN薄膜の伝導性制御

DOI

平間一行

NTT物性研
谷保芳孝

NTT物性研
山本秀樹

NTT物性研
熊倉一英

NTT物性研

書誌事項

タイトル別名

Control of electrical conductivity for c-BN films by Si doping

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 3358-3358, 2018-09-05

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390856384292236032
DOI

10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_3358
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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