PDSスピンコーティングによるFinFET向けダメージレスドーピング技術

DOI

松川貴

産総研
森貴洋

産総研
澤田佳宏

東京応化工業
木下洋平

東京応化工業
柳永勛

産総研
昌原明植

産総研

書誌事項

タイトル別名

Damageless Doping Technology for FinFETs by Spin-Coated PDS

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 3141-3141, 2018-03-05

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390856605462413440
DOI

10.11470/jsapmeeting.2018.1.0_3141
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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