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電界誘起気泡とプラズマを用いたメタライゼーション法の創生
DOI
市川 啓太
芝浦工大
福山 雄大
九大工
前田 真吾
芝浦工大
山西 陽子
九大工
書誌事項
タイトル別名
Study for Developing Metallization Method Using Electrically Induced Bubble and Plasma
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 3148-3148, 2018-03-05
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
20a-C101-2
半導体
Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
その他（省エネルギー技術、ナノカーボン等新技術など）
マイクロバブル
プラズマ
メタライゼーション
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390856605462494592
DOI
10.11470/jsapmeeting.2018.1.0_3148
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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