10 nmノード以降対応のアトミックレイヤーエッチング
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- 野尻 一男
- ラムリサーチ(株)
書誌事項
- タイトル別名
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- Atomic layer etching for 10 nm node and beyond
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 113-113, 2017-08-25
公益社団法人 応用物理学会