ＣＶＤ法により形成したシリコン薄膜の固相結晶化と電気的特性
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- 水島 一郎
- 東芝デバイス&ストレージ
書誌事項
- タイトル別名
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- Solid Phase Crystallization and Electrical Properties of CVD-Silicon Films
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 122-122, 2017-08-25
公益社団法人 応用物理学会