RIE-GaN表面でのAlGaNのMOVPE成長挙動

DOI

山本高勇

福井大院工
金谷彗杜

福井大院工
牧野伸哉

福井大院工
葛原正明

福井大院工

書誌事項

タイトル別名

MOVPE growth behavior of AlGaN on RIE-GaN surface

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 3414-3414, 2017-08-25

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390856893063825408
DOI

10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_3414
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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