ScAlN薄膜/LiNbO<sub>3</sub>基板における縦型リーキーSAW伝搬特性の理論解析
書誌事項
- タイトル別名
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- Theoretical analysis of LLSAW propagation properties for layered substrate consisting of ScAlN film/LiNbO<sub>3</sub> plate
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 349-349, 2017-08-25
公益社団法人 応用物理学会