計算化学を用いたプロセスプラズマ中における気相・表面反応解析

DOI

林俊雄

名古屋大
石川健治

名古屋大
関根誠

名古屋大
堀勝

名古屋大

書誌事項

タイトル別名

Computational analyses of chemical reactions in gas phase and on surface in process plasmas

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.1 (0), 1847-1847, 2017-03-01

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390857136567379840
DOI

10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_1847
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

書き出し

問題の指摘

ページトップへ