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c-BN(001)薄膜の結晶性に及ぼすイオン照射の影響
DOI
平間 一行
NTT物性研
谷保 芳孝
NTT物性研
山本 秀樹
NTT物性研
熊倉 一英
NTT物性研
書誌事項
タイトル別名
Ion-irradiation effect on crystal quality of c-BN (001) films
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 (0), 3114-3114, 2016-09-01
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
13p-A21-4
結晶工学
III-V族窒化物結晶
成長（MBE, スパッタリング）
立方晶窒化ホウ素
イオンビームアシストMBE
ダイヤモンド
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390858131658855424
DOI
10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_3114
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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