高周波マグネトロンスパッタリング法によるZnO薄膜の極性制御

DOI

角田啓

法政大学大学院物質・材料研究機構
大澤健男

物質・材料研究機構
大橋直樹

物質・材料研究機構
石垣隆正

法政大学大学院

書誌事項

タイトル別名

Polarity control of ZnO thin films by a RF Magnetron Sputtering Method

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 3869-3869, 2015-02-26

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390859016478902784
DOI

10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3869
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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