アセトンクラスターイオンビームのフォトレジストに対する照射効果

DOI

角元友樹

京大光電子理工セ
藤田朗人

京大光電子理工セ
龍頭啓充

京大光電子理工セ
竹内光明

京大光電子理工セ
高岡義寛

京大光電子理工セ

書誌事項

タイトル別名

Irradiation Effects of Acetone Cluster Ion Beam on Photoresist

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.1 (0), 1548-1548, 2014-03-03

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390859635832381184
DOI

10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_1548
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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