シリコン窒化膜の常磁性欠陥に対する熱処理の効果(Ⅱ)
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- 鈴木 亜嵐
- 東海大院工
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- シャクール ナウシャド
- 東海大院工
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- 落合 良治
- 東海大工
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- 永島 大樹
- 東海大工
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- 小林 清輝
- 東海大院工 東海大工
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.2 (0), 3501-3501, 2013-08-31
公益社団法人 応用物理学会