タンタル酸リチウム基材上に作製した弾性表面波デバイスの特性に関する研究
抄録
<p>弾性表面波（SAW）デバイスは、基材の表面近傍を伝搬する機械振動を利用した圧電マイクロデバイスである。36度回転Y板X伝搬タンタル酸リチウム単結晶基材上を伝搬するSAWを用いると液相系センサを構築できることが報告されている。本研究では、液相系センサ構築へ向け上記基材上にSAWデバイスを作製し、SAW伝搬面に液体を負荷した場合におけるデバイス特性の評価および制御を試みた。</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2023S (0), 638-639, 2023-03-01
公益社団法人 精密工学会