シリコン基板への炭素系多原子分子イオンビーム蒸着
Journal
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- JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
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JSAP Annual Meetings Extended Abstracts 2011.1 (0), 1751-1751, 2011-03-09
The Japan Society of Applied Physics
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390861725897173376
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- ISSN
- 24367613
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC