Fluid-type double-parabolic-reflector ultrasonic transducer for ultrasonic cleaning

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  • 超音波洗浄のための二重反射面集束型振動子

Abstract

<p>近年、シリコンウェハから微粒子を除去するために超音波洗浄技術が注目されている。シリコンウェハにダメージを与えずに高効率に微粒子を除去するためには、キャビテーション閾値の高い高周波帯において高音圧の超音波を照射することが必要である。本報告では二重反射面構造によって水中超音波を集束するFluid-type DPLUSを使った超音波洗浄システムについて検討をおこなった。</p>

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