非接触輪郭形状測定機を用いたマイクロプローブ先端球の計測

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タイトル別名
  • Microprobe tip ball measurement using a non-contact contour measuring machine

抄録

<p>直径0.1mm未満のプローブ先端球では,直径と形状誤差の評価に用いるnm精度基準球の作製が困難であるため,従来の比較測定に基づくプローブ校正には課題がある.本研究ではマイクロプローブ先端球の直径と形状誤差をnm精度で測定するために,非接触輪郭形状測定機による測定に取り組んだ.輪郭形状よりプローブ先端球の直径及び真円度を算出し,真円度測定機による測定結果との比較により,提案手法の有効性を検証した.</p>

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390862268805462656
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2023a.0_530
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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