CO<sub>2</sub> レーザとEUVリソグラフィ光源

DOI Web Site 参考文献9件
  • 東口 武史
    宇都宮大学工学部基盤工学科情報電子オプティクスコース（電気電子分野）

書誌事項

タイトル別名
  • Development of Short Pulse CO<sub>2</sub> Laser and Related Extreme Ultraviolet (EUV) Source

収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 90 (4), 334-336, 2024-04-05

    公益社団法人 精密工学会

参考文献 (9)*注記

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