熱処理による水素化DLC膜の構造変化
書誌事項
- タイトル別名
-
- Structural change of hydrogenated DLC film by thermal treatment
収録刊行物
-
- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
-
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2022.1 (0), 1161-1161, 2022-02-25
公益社団法人 応用物理学会
