ダイヤモンドシートを用いたガラス基板の固定砥粒研磨の研究

DOI Web Site

書誌事項

タイトル別名
  • Fixed diamond abrasive polishing method of glass substrate using diamond sheet
  • ダイヤモンドシートを用いたガラス基板の固定砥粒研磨の研究 : クーラント種による研磨レートの評価とその影響分析
  • ダイヤモンドシート オ モチイタ ガラス キバン ノ コテイトリュウ ケンマ ノ ケンキュウ : クーラントシュ ニ ヨル ケンマ レート ノ ヒョウカ ト ソノ エイキョウ ブンセキ
  • –Evaluation of removal rate and influence analysis by type of coolant–
  • —クーラント種による研磨レートの評価とその影響分析—

この論文をさがす

抄録

<p>HDD（Hard Disk Drive）の長期保存用媒体としての需要増加に伴い，HDDに用いられるガラス基板の低コスト化や量産化が要求されている．現在，ガラス基板の生産工程における第一次研磨では，ダイヤモンドシ-トとク-ラントを用いた固定砥粒研磨法が採用されている．しかしながら，各種あるク-ラント内のそれぞれに含まれる成分の影響を含め，使用するク-ラントの特性が研磨レ-トに及ぼす影響は明らかにされていない．一方，ク-ラントの主成分は明らかにされていないことがほとんどであるが，研磨レ-トの大小に沿った何らかの物理的現象を生じると考えられる．本研究ではク-ラントの物理的特性と研磨中におけるク-ラントの挙動の観点から，ダイヤモンドシ-トによるガラス研磨の高能率化に求められる指針提示を目的とする．本論文では，研磨レ-トに影響を与える因子として，研磨中の摩擦係数やク-ラントの動粘度，さらにはク-ラント挙動としてのあやめ模様の物理的現象に着目し，デ-タを取得した．さらに，重回帰分析することで，ク-ラントの性能諸元の明確化と研磨レ-トへの影響因子の解明を行った．その結果，ク-ラントの動粘度や摩擦係数，あやめ模様が研磨レ-トに影響することを確認した．</p>

収録刊行物

  • 砥粒加工学会誌

    砥粒加工学会誌 63 (10), 522-527, 2019-10-01

    社団法人 砥粒加工学会

キーワード

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ