光学薄膜界面の HAXPES 解析

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タイトル別名
  • HAXPES Analysis of Interface in Optical Thin Film

説明

光デバイス表面の反射率、透過率等の光学特性制御のために用いる光学薄膜は、積層膜であることが多いが、膜のバルク層や界面層が設計と異なる状態となっている場合、その層で意図せぬ光散乱や光吸収が生じるため、設計した光学特性が得られない悪影響が生じる。今回、設計と異なる光学特性を示した積層膜に対し、硬X線光電子分光（HAXPES）を用いた化学結合状態分析を行った結果、界面層が設計と異なる状態となっていることが明らかとなった。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1391412881282972032
  • NII論文ID
    130007969784
  • DOI
    10.18957/rr.8.2.420
  • ISSN
    21876886
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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