SiN/AlN積層構造によるAlGaN/GaNヘテロ接合電界効果トランジスタの表面パッシベーション

書誌事項

タイトル別名
  • SiN/AlN セキソウ コウゾウ ニ ヨル AlGaN/GaN ヘテロ セツゴウ デンカイ コウカ トランジスタ ノ ヒョウメン パッシベーション
  • Surface passivation of AlGaN/GaN heterojunction field-effect transistors by SiN/AlN bilayer structure
  • 電子デバイス
  • デンシ デバイス

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