書誌事項
- タイトル別名
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- ドライエッチングによる窒化ガリウム系材料のナノ構造形成プロセス
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収録刊行物
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 101 (618), 19-26, 2002-01-29
東京 : 電子情報通信学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009407257082880
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- NII論文ID
- 110003201536
- 110003310982
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- NII書誌ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
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- 本文言語コード
- en
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
