RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn2O4薄膜の生成

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タイトル別名
  • RF マグネトロン スパッタリングホウ ニ ヨル LiMn2O4 ハクマク ノ セイセイ
  • Preparation of LiMnO4 films by RF magnetron sputtering
  • 電子デバイス
  • デンシ デバイス

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