反応性マグネトロンスパッタ法によるAlN膜の作製と特性
書誌事項
- タイトル別名
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- ハンノウセイ マグネトロン スパッタホウ ニ ヨル AlN マク ノ サクセイ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 新居浜工業高等専門学校紀要. 理工学編 / 新居浜工業高等専門学校 編
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新居浜工業高等専門学校紀要. 理工学編 / 新居浜工業高等専門学校 編 (23), p18-21, 1987-01
新居浜 : 新居浜工業高等専門学校
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009407529149056
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- NII論文ID
- 40002793128
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- NII書誌ID
- AN00183702
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- ISSN
- 02862743
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- NDL書誌ID
- 3120704
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles