MOCVD法によるGaAs基板上InGaAs層の低温成長

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書誌事項

タイトル別名

MOCVDホウニヨル GaAs キバンジョウ InGaAsソウノテイオンセイチョウ
結晶成長,評価技術及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子材料,太陽電池,高耐圧素子等) 小特集:3族窒化物研究の最前線
ケッショウセイチョウヒョウカギジュツオヨビデバイスカゴウブツ Si SiGe デンシザイリョウタイヨウデンチコウタイアツソシトウショウトクシュウ 3ゾクチッカブツケンキュウノサイゼンセン

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 102 (81), 13-18, 2002-05-24

東京 : 電子情報通信学会