CNFETにおけるhigh-κゲート絶縁膜界面近傍の電荷分布とその影響

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  • CNFET ニ オケル high-kゲート ゼツエンマク カイメン キンボウ ノ デンカ ブンプ ト ソノ エイキョウ
  • Charge distribution near interface of high-κ gate insulator in CNFETs
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ ・ デバイス

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