書誌事項
- タイトル別名
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- シリコンウェーハ ノ スウチ セイギョ ドライ ヘイタンカ カコウ
- 特集 シリコンウェーハの加工メカニズム
- トクシュウ シリコンウェーハ ノ カコウ メカニズム
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収録刊行物
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- Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
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Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 44 (10), 437-440, 2000-10
東京 : 砥粒加工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009407790205440
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- NII論文ID
- 10010080683
- 10009510167
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- NII書誌ID
- AN10192823
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- ISSN
- 09142703
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- NDL書誌ID
- 5495673
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
