硬X線光電子分光法によるp型GaNのドライエッチングダメージ評価

書誌事項

タイトル別名
  • コウXセン コウデンシ ブンコウホウ ニ ヨル pガタ GaN ノ ドライエッチングダメージ ヒョウカ
  • Study of etching-induced damage in p-type GaN by hard X-ray photoelectron spectroscopy
  • レーザ・量子エレクトロニクス
  • レーザ リョウシ エレクトロニクス

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