硬X線光電子分光法によるp型GaNのドライエッチングダメージ評価

Bibliographic Information

Other Title
  • コウXセン コウデンシ ブンコウホウ ニ ヨル pガタ GaN ノ ドライエッチングダメージ ヒョウカ
  • Study of etching-induced damage in p-type GaN by hard X-ray photoelectron spectroscopy
  • レーザ・量子エレクトロニクス
  • レーザ リョウシ エレクトロニクス

Search this article

Journal

References(9)*help

See more

Details 詳細情報について

Report a problem

Back to top