硬X線光電子分光法によるp型GaNのドライエッチングダメージ評価
Bibliographic Information
- Other Title
-
- コウXセン コウデンシ ブンコウホウ ニ ヨル pガタ GaN ノ ドライエッチングダメージ ヒョウカ
- Study of etching-induced damage in p-type GaN by hard X-ray photoelectron spectroscopy
- レーザ・量子エレクトロニクス
- レーザ リョウシ エレクトロニクス
Search this article
Journal
-
- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
-
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 110 (273), 59-62, 2010-11
東京 : 電子情報通信学会
- Tweet
Keywords
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1520009407924878592
-
- NII Article ID
- 110008152741
- 110008152405
- 110008152433
-
- NII Book ID
- AA1123312X
-
- ISSN
- 09135685
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
-
- Data Source
-
- NDL Search
- CiNii Articles