TSVによる3次元実装技術の動向

書誌事項

タイトル別名
  • TSV ニ ヨル 3ジゲン ジッソウ ギジュツ ノ ドウコウ
  • Present State of Three Dimensional Packaging Technology Using Through Silicon Via
  • 次世代電子機器を支える三次元積層技術と先端実装の設計・評価技術論文特集
  • ジセダイ デンシ キキ オ ササエル サンジゲン セキソウ ギジュツ ト センタン ジッソウ ノ セッケイ ・ ヒョウカ ギジュツ ロンブン トクシュウ

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