真空紫外光による合成樹脂の微細パターニング法の研究
Bibliographic Information
- Other Title
-
- シンクウ シガイコウ ニ ヨル ゴウセイ ジュシ ノ ビサイ パターニングホウ ノ ケンキュウ
- Study of fine patterning method for synthetic resin by using vacuum ultraviolet
Search this article
Journal
-
- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
-
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 1-5, 2017
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan