書誌事項
- タイトル別名
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- モンテカルロホウ ニ ヨル イオンカ スパッタシミュレーション ダイ2ホウ ウエハ ヒョウメン ニ オケル Cu ゲンシ イオン ノ キョドウ ノ コウリョ
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収録刊行物
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- 日本機械学会論文集. B編
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日本機械学会論文集. B編 70 (689), 17-24, 2004-01
東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009408172086784
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- NII論文ID
- 110004999212
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- NII書誌ID
- AN00187441
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- ISSN
- 03875016
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- NDL書誌ID
- 6835379
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
