表面活性化ボンディングによるSi・異種材料接合の電気特性評価

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  • ヒョウメン カッセイカ ボンディング ニ ヨル Si ・ イシュ ザイリョウ セツゴウ ノ デンキ トクセイ ヒョウカ
  • Electrical Properties of Si-Based Heterojunctions by Surface-Activated Bonding
  • 電子デバイス
  • デンシ デバイス

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